ZJQ型三叶气体循环冷却罗茨真空泵

一、概况及原理

气体循环冷却罗茨真空泵主要由主动转子、从动转子、泵体、冷却器、电机等组成，由于其特殊的结构设计，使其可以在高压差和高压缩比下长期可靠运行。

冷却气体从泵体的两侧进入泵的吸气腔，使泵不会因压缩气体而出现过热，但对泵的抽气性能没有任何影响。转子在泵腔内旋转120度并完成一次吸、排气的过程。

冷却器和电机是每台泵必备的附件，冷却器和电机的规格是根据不同的工况而定。泵可以单独使用也可以多台串联使用，或与液环真空泵和普通罗茨真空泵串联成机组，达到更高真空度来满足各类工艺要求。