ZJ型三叶罗茨真空泵

一、概况及原理

罗茨真空泵是一种旋转式容积真空泵。二个三叶型转子与泵腔保持一定的间隙，通过一对同步反向旋转高精度齿轮，使二个转子在泵腔内旋转时互相不接触并保持一定间隙。右图为泵的结构原理科，从图|到IV为转子在泵腔调内旋转并完成一次吸、排气的过程。

采用三叶转子罗茨真空泵比传统二叶8字型转子罗茨真空泵的抽气效率、至大允许压差、温升、振动、噪声等主要性能指示都具有明显的技术优势。

二、主要特点

1、转速高、容积效率高、温升低、振动小。

2、结构简单、可靠性好，操作、维护方便。

3、可采用风冷和水冷方式，满足不同工况要求。

4、转子被锁紧，无轴向串动现象、故障率更低。

5、所有平面静密封采用O型圈密封，可以反复拆装。

6、与传统二叶罗茨真空泵比较，抽气性能优势十分明显。

7、采用高精度传动齿轮和精密滚动轴承，噪声低、运转平稳。

8、主轴采用多弹簧平衡式机械密封，确保泵腔调无油和泵长期使用无泄漏。

9、端盖密封可采用机械密封、骨架密封、活塞环迷宫密封等多种结构型式。

10、可与油封机械泵、往复泵、液环泵、无油干式泵等前级泵配套，满足各类工艺要求。

三、应用范围

罗茨真空泵的优点是在较低入口压力时仍具有较大抽气速率，但普通罗茨真空泵不能单独使用，必须与前级真空泵配套使用。当前级真空泵将系统内的压力抽到罗茨真空泵允许启动压力后，才可启动罗茨真空泵。根据不同的工作压力和工艺条件，罗茨真空泵的前级真空泵可采用油封式机械真空泵、活塞式真空泵、无油螺杆真空泵等。配置不同类别的前级真空泵后罗茨真空泵各项性能指标有所不同。

罗茨真空泵主要应用于需要大抽速和粗、中真空(10°_10-2Pa)任何真空系统中，例如：真空镀膜、真空焊接炉、真空热处理炉、大型空间模拟试验、微电子及集成电路、灯管及灯泡制造、激光器制造、真空包装、集中制气系统、各类化工处理、真空脱汽、真空脱水、真空冷冻干燥、真空蒸馏。

四、规格参数

1、抽气速率：指在配用推荐前级泵的条件下，罗茨真空泵的入口压力在67pa~2.67pa范围内所测得的至大抽气速率。(见性能曲线)

2、极限压力：指在配用推荐前级泵的条件下，不带任何附加容器、泵口密闭不进气，经过充分抽气后用压缩式真空计在泵进气口处测得的稳定的空气分压力的至低值。

3、上表各性能是在配用推荐前级泵的条件下获得的，用户可根据不同情况，选用不同的前级真空泵，但其主要性能指标会有所变化。

五、性能参数